如何對LED設(shè)備國產(chǎn)化?【無鉛波峰焊】
近年來自主創(chuàng)新的金屬有機源(MO源)實現(xiàn)大規(guī)模應(yīng)用,占國內(nèi)市場的60%以上;藍寶石襯底材料可滿足國內(nèi)市場需求的50%以上,目前圖形化襯底已經(jīng)在批量供應(yīng),產(chǎn)品結(jié)構(gòu)的調(diào)整已見成效;自主開發(fā)的熒光粉、塑封樹脂占有30%的市場份額
關(guān)白玉表示,2012年年底,國內(nèi)多家企業(yè)研發(fā)成功的外延設(shè)備MOCVD開始與芯片廠家進行工藝磨合。2013年和2014年電子發(fā)展基金項目支持的MOCVD等國產(chǎn)設(shè)備相繼進入芯片生產(chǎn)線試用,從目前情況來看,進展順利。同時,多種LED生產(chǎn)專用設(shè)備和多種光、電、色、熱性能檢測儀器等已經(jīng)用于LED生產(chǎn)線,運行穩(wěn)定。
“就LED的生產(chǎn)過程來說,從藍寶石材料開始,一直到PSS、外延、芯片端,再到最后的減薄等工藝,目前,國產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)能夠很好地代替進口設(shè)備。”北方微電子裝備有限公司副總裁紀(jì)安寬在接受《中國電子報》記者采訪時表示,“尤其是最近幾年發(fā)展比較快的外延、芯片的關(guān)鍵設(shè)備,也都實現(xiàn)了國產(chǎn)化。”
按工序的具體順序來看,據(jù)紀(jì)安寬介紹,浙江晶盛生產(chǎn)的90公斤藍寶石單晶爐,蘇州赫瑞特、湖南宇晶、唐山晶玉、中國電子科技集團公司第四十五研究所(以下簡稱“45所”)等生產(chǎn)的多線切割機,中晟光電、中微半導(dǎo)體的MOCVD設(shè)備,45所的清洗設(shè)備、光刻機,北方微電子的PECVD設(shè)備、ITO薄膜濺射設(shè)備、AlN薄膜濺射設(shè)備、GaN ICP刻蝕機、PSS ICP刻蝕機,深圳矽電半導(dǎo)體設(shè)備有限公司的全自動點測設(shè)備,45所、大族激光、蘇州德龍的激光劃切機,45所的自動粘片機、自動引線鍵合機等等,各項技術(shù)指標(biāo)均已接近或超過國外主流機型,部分型號已經(jīng)成為主流企業(yè)生產(chǎn)線上的主力量產(chǎn)機型。
劃片機、蝕刻機、勻膠機都是值得一提的應(yīng)用領(lǐng)域。梁旭東表示,以劃片機為例,2008年以前國內(nèi)使用的激光劃片機只有Newwave、Opto、JPSA等3家企業(yè)的產(chǎn)品,進口設(shè)備一統(tǒng)天下,完全看不到國產(chǎn)設(shè)備的身影。在2008年5月份以后,市場上陸續(xù)出現(xiàn)了德龍、大族、華工等國內(nèi)設(shè)備企業(yè)。經(jīng)過他們幾年間不懈的努力,到2011年,紫外劃片機市場已經(jīng)基本成了國產(chǎn)設(shè)備的天下,設(shè)備單價大幅下降,設(shè)備產(chǎn)能也大幅提升。
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